Sensofar是一家來自西班牙、專注于三維表面形貌測量的高科技公司，成立于1999年。它最鮮明的特點是將共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測量技術融于一身。
Sensofar共聚焦顯微鏡的核心定位是非接觸式3D光學表面輪廓儀。它不僅僅是一臺顯微鏡，更是一臺高精度的計量儀器。其顯著的特點是將多種光學測量技術集成于一體，用戶可以根據樣品特性在同一臺設備上無縫切換最合適的測量模式，以獲得精確的數據。新型Sensofar共聚焦顯微鏡S neox在性能、功能、效率和設計方面優于現有的3D光學輪廓儀，是新一代共聚焦顯微鏡測量系統。
特點：
1.驚人的測量速度
通過采用新的智能和自有的算法以及新型相機，達到驚人的測量速度。數據采集速度達 180 fps。標準測量采集速度比以前快5倍。新型Sensofar共聚焦顯微鏡S neox 成為市場上速度極快的表面測量系統。
2.易于使用
Sensofar致力于為客戶提供最令人難以置信的體驗。隨著第五代 S neox 共聚焦顯微鏡系統的誕生，我們的目標是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學者，只需點擊一下，即可操作測量。模塊化設計的軟件，使系統適應用戶多樣的需求。
3.豐富的自動化模塊，方便進行質
量管控。從操作員訪問權限控制、測量程序存儲、兼容性到條形碼/QR 讀取器，以及我們專有 SensoPRO 軟件中的定制插件，都可以自動生成分析報告。我們的優化解決方案能夠在 QC 環境中工作，其具有靈活性和易于使用的界面，可編程并24小時工作。
4.研發
Sensofar的三合一方法—只需點擊一次，系統即可切換到適合當前測量任務的掃描模式。在 S neox 傳感器頭中配置三種測量技術—共聚焦、干涉、Ai 多焦面疊加—這些都為系統的多功能性做出了重要貢獻，并有助于非常有效地減少數據采集中的噪點。S neox 是所有實驗室環境的理想之選,適用范圍廣泛。
5.Ai 多焦面疊加NEW!
主動照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發的光學技術。這項技術基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領域的廣泛專業知識，專門設計用于補充低放大率下的測量。通過使用主動照明，即使在光學平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數據，這一點已經得到了改進。該技術的亮點包括高斜率表面(高達 86º),更快的速度(mm/s)和較大的垂直范圍測量。
6.共聚焦
共聚焦輪廓儀的開發目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率，可達 0.14μm 水平分辨率，空間采樣可減少到 0.01μm，這是關鍵尺寸測量的理想選擇。高達NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面。對于粗糙表面，可允許 86°。自有的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復性。
7.干涉
光學干涉是利用參考鏡和樣本上產生的兩束反射光在零光程差時產生干涉的現象來生成三維干涉圖樣(干涉圖)，包含樣本表面形貌上的信息。該方式的各種變化可用于具體不同的應用。
8.薄膜
薄膜測量技術快速、準確、無損地測量光學透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統獲取可見光范圍內樣品的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，準確地找到匹配的厚度。可以在不到一秒鐘的時間內測量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，范圍從0.5μm到40μm。
9.LED光源的優勢
用LED做照明光源要比用激光更有優勢。首先LED光源可以避免發生激光光源的散斑現象。其次LED光源的使用壽命約50000小時(約25倍于激光)。最重要的是多個LED就意味著可以根據樣品的需求選擇適合的波長來測量。
10.可追溯的精確測量
每一臺SNEOX都是為了實現精確且可追溯地測量。我們的設備使用符合ISO25178中的Part 700和Part 600標準的可追溯標準塊進行校正。所有的指標，包括高度及水平精度、平面度偏差、系統分辨率等都以測量此類標準塊而得到。我們堅持所有的測量設備按照此標準執行。
SNEOX出廠前都采用已計量、可追溯的標準塊做校正，并且確認符合標準才會出廠。同時SENSOFAR會隨設備附上測量精度和重復性的檢測報告。
S neox系列(旗艦型)：這是Sensofar的第五代產品，代表了其技術的集大成者。它搭載了Microdisplay共焦技術，掃描頭內無運動部件，既保證了高速掃描(數據采集達180幀/秒)，又避免了震動對精度的影響。此外，其"連續共聚焦掃描"技術還能將掃描速度再提高3倍。Z軸精度可達0.1納米，XY軸分辨率最高0.14微米。
主要應用領域：
憑借其高精度和多技術的適應性，Sensofar的顯微鏡被廣泛應用于各個高精尖領域：
1.半導體與微電子：用于晶圓表面形貌、臺階高度、刻蝕深度的納米級檢測。
2.精密制造：測量汽車零部件、光學鏡片、精密模具的粗糙度、輪廓和磨損情況。
3.醫療器械：評估支架、骨科和牙科植入物的表面紋理，以確保其生物相容性。
4.材料科學：分析新材料、涂層的表面特征和摩擦學性能。
5.科研與學術：為大學和研究機構提供高精度的三維表面表征工具，例如北京大學、南京市計量監督檢測院等都是其用戶。
